臭氧催化氧化是用于污水深度处理一种高级氧化技术，采用臭氧+催化剂技术，在臭氧场及专用催化剂的作用下直接激发产生羟基自由基，在羟基自由基的强氧化性的作用下，可使难降解物质分解。可广泛应用于多种难降解工业废水的预处理和深度处理。